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极限压力≤4×10-2 抽气速率:15L/S
极限压力≤4×10-2 抽气速率:8L/S
极限压力≤4×10-2 抽气速率:6L/S
极限压力≤4×10-2 抽气速率:4L/S
极限压力≤4×10-2 抽气速率:2L/S
最大真空度:0.05 torr= 0.066 mBar 流速:71 L/min
最大真空度:0.05 torr= 0.066 mBar 流速:35 L/min
最大真空度:0.1 torr= 0.13 mBar 流速:128L/min
最大真空度:0.1 torr= 0.13 mBar 流速:71 L/min
最大真空度:-650mmHg= 85.5kPa= 110torr