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最大真空度:0.05 torr= 0.066 mBar 流速:71 L/min
最大真空度:0.05 torr= 0.066 mBar 流速:35 L/min
最大真空度:0.1 torr= 0.13 mBar 流速:128L/min
最大真空度:0.1 torr= 0.13 mBar 流速:71 L/min
抽气速率: 200/240L/min 极限真空度: 6.7×10-2
抽气速率: 165/200L/min 极限真空度: 6.7×10-2
抽气速率: 135/162L/min 极限真空度: 6.7×10-2
抽气速率: 100/120L/min 极限真空度: 6.7×10-2
抽气速率: 50/60L/min 极限真空度: 6.7×10-2