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抽气速率(L/s) 15 极限压力(Pa) 分压力 ≤6×10-2
抽气速率(L/s) 8 极限压力(Pa) 分压力 ≤6×10-2 全压力 ≤1
抽气速率(L/s) 4 极限压力(Pa) 分压力 ≤6×10-2
极限压力≤4×10-2 抽气速率:25L/S
极限压力≤4×10-2 抽气速率:15L/S
极限压力≤4×10-2 抽气速率:8L/S
极限压力≤4×10-2 抽气速率:6L/S
极限压力≤4×10-2 抽气速率:4L/S
极限压力≤4×10-2 抽气速率:2L/S
最大真空度:0.05 torr= 0.066 mBar 流速:71 L/min