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极限压力≤4×10-2 抽气速率:4L/S
极限压力≤4×10-2 抽气速率:2L/S
最大真空度:0.05 torr= 0.066 mBar 流速:71 L/min
最大真空度:0.05 torr= 0.066 mBar 流速:35 L/min
最大真空度:0.1 torr= 0.13 mBar 流速:128L/min
抽气速率: 4L/S 极限真空度: 6×10-2
抽气速率: 2L/S 极限真空度: 6×10-2
抽气速率: 1L/S 极限真空度: 6×10-2
抽气速率: 0.5L/S 极限真空度: 6×10-2
抽气速率: 0.25L/S 极限真空度: 6×10-1