抽气速率: 4L/S 极限真空度: 6×10-2
抽气速率: 2L/S 极限真空度: 6×10-2
抽气速率: 1L/S 极限真空度: 6×10-2
抽气速率: 0.5L/S 极限真空度: 6×10-2
抽气速率: 0.25L/S 极限真空度: 6×10-1