洁净度:100级@≥0.5μm(美联邦209E) 菌落数:≤0.5个/皿·时(Φ90㎜培养平皿)
洁净度100级@≥0.5μm(美联邦209E) 外形尺寸1300×800×1950mm 工作区尺寸1000×650×580mm